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技術特點
●磨輪直徑 Φ300mm，**減薄速率 0.9μm/s, 單片磨削時間＜ 5 分鐘。選擇高功率高扭矩主軸，可實現高效率、高精度、無損傷鏡面加工；
●雙主軸三工位全自動減薄機，配有在線測量儀單元（測量范圍 0-1800μm），精確控制減薄厚度；具備 SECS/GEM 聯網功能。配置 SMIF（選配），保持高清潔度的同時穩定減薄。
性能指標
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