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馬爾文帕納科XRD系列晶向定位

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型號

XRD-晶向定位

品牌

馬爾文帕納科

產(chǎn)地

荷蘭

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馬爾文帕納科

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XRD 系列

晶圓和鑄錠快速準確的晶向定位


從全自動的在線分析到晶圓材料的快速質(zhì)量檢查,我們的晶向定位解決方案在

設(shè)計時考慮到了晶棒、鑄錠、切片和晶圓的全部應(yīng)用場景。此系列產(chǎn)品利用

XRD分析技術(shù)在晶圓生產(chǎn)的全部流程中,提供簡單、快速、高精度的晶體定

向測量,大大提高產(chǎn)品良率。


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Omega/Theta(XRD)                           

用于超快晶體定向的全自動垂直三軸XRD    


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  • 定向精度:0.003°

  • 定向轉(zhuǎn)移技術(shù):多鑄錠取向測定,實現(xiàn)高效切割

  • 晶錠端面及定位邊定向和轉(zhuǎn)移夾具可選

  • 光學(xué)測量工具可選,可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度

  • 適應(yīng)不同樣品的精密樣品轉(zhuǎn)盤、mapping臺和工裝夾具

  • 搖擺曲線測量


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DDCOM(XRD)

緊湊型超快晶體自動定向儀

  • 10秒內(nèi)完成定向

  • 定向精度:0.01°

  • 兩個閃爍探測器

  • 專為方位角設(shè)置和晶向標記而設(shè)計

  • 可測直徑為 8 mm 至**225 mm的晶圓和晶錠

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SDCOM(XRD)

用戶友好的緊湊型多功能XRD

  • 超快測量,10秒內(nèi)返回結(jié)果

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  • 定向轉(zhuǎn)移技術(shù):多鑄錠取向測定,實現(xiàn)高效切割

  • 光學(xué)測量工具可選,可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度

  • 樣品直徑1-200mm

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XRD-OEM

在線晶體定向測定

  • 標準工業(yè)接口,可集成到任何自動化或加工系統(tǒng)中

  • 線切/研磨前對大型晶錠進行全自動在線定向

  • 可內(nèi)置于磨床和切割機等惡劣環(huán)境中使用

  • 平邊/V槽的光學(xué)測量功能,如位置、形狀、長度、深度等


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無縫融入生產(chǎn)線的全自動高速XRD

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  • 產(chǎn)能:100萬片/年

  • 幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測量等

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Wafer XRD 300

用于300mm晶圓生產(chǎn)的高速XRD

  • 超快速提供12英寸晶圓的晶體取向和幾何特征等

  • 定向精度:0.003°

  • 幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測量等


附加功能

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          晶圓面掃                          鑄錠堆垛 

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        自動化晶圓揀選                 小樣品夾具


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電池/電源

2021-08-06

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

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