1. 技術先進、設計優化，性價比高，性能穩定，使用維護成本低。

2.大面積，復合型，批量制備，潔凈真空不同功能復合涂層制備，可獲得更高電池轉換效率。

3.廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池及復合功能薄膜材料制備等應用。

設備名稱：鈣鈦礦大面積蒸發設備

設備型號：ZDF3200（單片/多片）

鍍膜方式：線源蒸發

真空腔室結構：臥式方箱結構

真空腔室尺寸：L810mm×W700mm×H670mm（鍍膜室）

極限真空：優于5.0x10-?Pa

基片臺尺寸：330mm×420mm

基片溫度：80℃以下

膜厚不均勻性：≤±5.0%（330mmx420mm范圍內）

蒸發源：高低溫線性蒸發源

膜厚監控系統：國產或進口多探頭（可選）

控制方式：PLC + 觸摸屏控制

占地面積：L3200mm×W2000mm×H1800mm

總功率：≥40KW