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無掩膜顯微型LED曝光機(jī)
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美國Cascade EPS探針臺
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ELEDE? 380G+/G380C刻蝕機(jī)
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HSE系列等離子刻蝕機(jī)

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DynaCool全新一代完全無液氦綜合物性測量系統(tǒng)

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量產(chǎn)型OPV/鈣鈦礦卷對卷涂敷系統(tǒng)

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美國MMR霍爾效應(yīng)測量系統(tǒng)H5000

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鋰電池模組檢測系統(tǒng)

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德國Sentech等離子刻蝕機(jī)ICP-RIE SI 500

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第二代OLED影像＆壽命測試系統(tǒng)

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EBPG150電子束光刻機(jī)

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鋰電池模組循環(huán)測試系統(tǒng)

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瑞士Swisslitho 3D納米高速直寫機(jī)NanoFrazor

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量產(chǎn)型卷對卷旋轉(zhuǎn)絲印涂敷系統(tǒng)

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德Eulitha電子束光刻機(jī)Phable R100 system

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雙面卷對卷涂敷系統(tǒng)

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德國Raith電子束光刻機(jī)Pioneer Two

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大尺寸量產(chǎn)型狹縫涂布設(shè)備

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瑞典Mycronic多功能掩膜版光刻機(jī)FPS 6100

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德國Sentech等離子體沉積機(jī)PECVD Depolab 200

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Oxford反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaPro 800 RIE

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KSI-Nano型高分辨率表層缺陷超聲波掃描顯微鏡系統(tǒng)

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韓國ATI晶圓檢查機(jī)WIS-1000

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德Sentech經(jīng)濟(jì)型反應(yīng)離子刻蝕機(jī)Etchlab200

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德國Netzsch同步熱分析儀STA 449 F5

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德國Sentech離子刻蝕與沉積機(jī)200 RIE

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KSI V300E單探頭超聲波掃描顯微鏡

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美Nano-master離子束刻蝕濺射鍍膜一體機(jī)NOC-4000

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AFMinSEM針尖電子束光刻與掃描電子顯微鏡組合系統(tǒng)

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德國KSI超聲波缺陷檢測系統(tǒng)i-Wafer

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牛津Oxford原子層刻蝕機(jī)PlasmaPro 100 ALE

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美國RKD化學(xué)開封機(jī)Elite Etch 7000

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美國SONIX晶圓檢測機(jī)AutoWafe Pro

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美RTI自動曲線跟蹤器MT Century Curve Tracer

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德國SENTECH等離子刻蝕機(jī)SI 591

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海德堡Heidelberg掩膜版光刻機(jī)VPG1600

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