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德國KSI-凱斯安i-Wafer型
全自動晶圓超聲波缺陷檢測系統
i-Wafer系列是一款高端儀器，操作人員可選擇接收/拒絕標準，手動或自動檢測晶圓。在KSI i-Wafer的探測下，晶圓中的孔隙、分層或者雜質都能被發現。尺寸在450mm的多種晶圓也能進行檢測
新型KSI i-Wafer晶圓缺陷檢測系統的主要特點：
- 掃描速度高達2000mm/s
- 新型換能器
- 高質畫面
- 同時使用1只、2只、4只換能器提高效能
- 能發現只有幾微米的缺陷
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