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產品簡介
技術特點：
● 利用粗磨和精磨軌跡重合技術，顯著提高了超薄晶圓磨削加工品質的穩(wěn)定性，可實現(xiàn) 8 英寸晶圓厚度 100μm 以下精密減薄；
● 雙主軸三工位全自動減薄機，配有在線測量儀單元，精確控制減薄厚度；配備自主、優(yōu)化的 8 英寸超精密空氣主軸和氣浮載臺；具備SECS/GEM聯(lián)網(wǎng)功能。
性能指標：
| WG-8501自動減薄機 | |||
| 磨削方式 | 通過旋轉晶圓，實現(xiàn)縱向切入式磨削 | ||
| 結構方式 | 1根主軸, 3個承片臺,1回轉工作臺 | ||
| 磨削尺寸 | mm | Max.?200(Φ4″-Φ8″) | |
| 磨輪直徑 | mm | Φ200 | |
| 主軸 | 主軸數(shù)量 | - | 2 |
| 主軸功率 | KW | 5.5 | |
| 主軸轉速 | rpm | 1000-6000 | |
| Z軸行程 | mm | 120 | |
| Z軸分辨率 | μm | 0.1 | |
| 承片臺 | 裝片方式 | - | 真空吸附 |
| 承片臺類型 | - | 多孔陶瓷式（6/8寸兼容） | |
| 轉速 | rpm | 0-300 | |
| 承片臺數(shù)量 | 套 | 3 | |
| 減薄精度 | 片內厚度偏差 | μm | ≤2.5 |
| 片間厚度偏差 | μm | ≤±2.5 | |
| 表面粗糙度斤 | μm | ≤0.002(#20000 wheel,Si) | |
| 設備 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1200×2760×1950 |
| 設備重量 | kg | 約3800 | |
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