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產(chǎn)品簡介
技術(shù)特點(diǎn)：
●磨輪直徑 Φ300mm，**減薄速率 0.9μm/s, 單片磨削時(shí)間＜ 5 分鐘。選擇高功率高扭矩主軸，可實(shí)現(xiàn)高效率、高精度、無損傷鏡面加工；
●雙主軸三工位全自動(dòng)減薄機(jī)，配有在線測量儀單元（測量范圍 0-1800μm），精確控制減薄厚度；具備 SECS/GEM 聯(lián)網(wǎng)功能。配置 SMIF（選配），保持高清潔度的同時(shí)穩(wěn)定減薄。
性能指標(biāo)：
| WG-1250自動(dòng)減薄機(jī) | |||
| 磨削方式 | 通過旋轉(zhuǎn)晶圓，實(shí)現(xiàn)縱向切入式磨削 | ||
| 結(jié)構(gòu)方式 | 1根主軸, 3個(gè)承片臺(tái),1回轉(zhuǎn)工作臺(tái) | ||
| 磨削尺寸 | mm | Max.?200(Φ6″-Φ8″) | |
| 磨輪直徑 | mm | Φ300 | |
| 主軸 | 主軸數(shù)量 | - | 2 |
| 主軸功率 | KW | 7.5 | |
| 主軸轉(zhuǎn)速 | rpm | 1000-4000 | |
| Z軸行程 | mm | 120 | |
| Z軸分辨率 | μm | 0.1 | |
| 承片臺(tái) | 裝片方式 | - | 真空吸附 |
| 承片臺(tái)類型 | - | 多孔陶瓷式（6/8寸兼容） | |
| 轉(zhuǎn)速 | rpm | 0-300 | |
| 承片臺(tái)數(shù)量 | 套 | 3 | |
| 承片臺(tái)清洗方式 | - | 油石手動(dòng)清洗 | |
| 減薄精度 | 片內(nèi)厚度偏差 | μm | ≤2 |
| 片間厚度偏差 | μm | ≤±2 | |
| 表面粗糙度斤 | nm | ≤3(#30000 wheel,SiC) | |
| 設(shè)備 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1445×3330×1895 |
| 設(shè)備重量 | kg | 4700 | |
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