中國粉體網訊 近日,東京大學宣布成功開發出一項針對下一代半導體玻璃基板的“激光微孔加工技術”,可在玻璃材料上實現高精度、極小孔徑與高縱橫比的微孔加工。實驗中采用的玻璃基板為AGC公司生產的“EN-A1”。新光刻技術研發:基于[更多]
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