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SAB9510-半自動 超原子束TRIM機品牌
青禾晶元產地
天津樣本
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SAB9510是一款全自動的超原子束表面TRIM機，可通過Cassette自動上下料，適用于半導體薄膜超精密TRIM批量化生產。
項目
指標
晶圓尺寸
4-12寸
上料模式
Cassette自動上下料
晶圓校準
Aligner
去除效率
800 ?*cm2/s @Si
支持工藝氣體
NF3/Ar/SF6/O2/He或其他混合氣體
束流強度
＞100μA @Ar
束斑尺寸
半高寬<5mm
離子能量
60kev
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