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型號：IBSH-1030 特點： 1、基板水平放置，垂直監控； 2、靶材左右移動，位置和速度可編程控制； 3、基板：12吋×1 或 6吋×4； 4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換； 5、多光路監控。 6、無膜厚分布修正板 |
型號：IBSH-1030 特點： 1、基板水平放置，垂直監控； 2、靶材左右移動，位置和速度可編程控制； 3、基板：12吋×1 或 6吋×4； 4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換； 5、多光路監控。 6、無膜厚分布修正板 | 型號：IBSH-1030 特點： 1、基板水平放置，垂直監控； 2、靶材左右移動，位置和速度可編程控制； 3、基板：12吋×1 或 6吋×4； 4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換； 5、多光路監控。 6、無膜厚分布修正板 |
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