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d)膜厚修正板：0.005° e)擋板: position switch 3）光學監控系統OMS a) 波長范圍：380nm～1650nm b) 光源穩定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02% c) 波長分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm d) 波長準確度: 白光0.2nm ，激光0.1nm |
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