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韓國(guó)樣本
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**、產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
韓國(guó)CTS公司的AP200型CMP拋光機(jī)是一款科研級(jí)的CMP系統(tǒng)，采用CTS公司工業(yè)級(jí)的設(shè)計(jì)理念，為科研工作者及先進(jìn)制程開(kāi)發(fā)公司提供了一套研究級(jí)別的高端設(shè)備，可兼容4寸，6寸，8寸樣品。
第二、產(chǎn)品主要特色：
1、CMP拋光頭：采用氣囊加載模式，核心區(qū)，邊緣區(qū)，保持環(huán)三區(qū)壓力控制，可得到良好的工業(yè)級(jí)拋光效果；
2、自動(dòng)上下片，自動(dòng)拋光，干進(jìn)濕出；
3、拋光墊修整器：擺臂式設(shè)計(jì)，由10個(gè)傳感器分別控制10個(gè)區(qū)域的下壓力，可保證拋光墊高水平修整；
4、拋光墊修整器：具有在線修整與離線修整兩種模式；
5，工藝數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)；
6、可存儲(chǔ)多個(gè)Recipe.
第三、核心技術(shù)參數(shù)：
拋光頭 | 兼容4寸，6寸，8寸 |
拋光頭擺動(dòng)范圍 | ±15mm |
拋光頭轉(zhuǎn)速 | 0 -200 rpm |
拋光頭加壓方式 | 氣囊柔性加壓背壓功能（3區(qū)加壓） |
拋光頭壓力范圍 | 0.14-14 psi |
拋光盤(pán)尺寸 | 20英寸 |
拋光盤(pán)轉(zhuǎn)速 | 0 -200 rpm |
蠕動(dòng)泵 | 2個(gè) |
拋光液流速 | 20-500 cc/min |
拋光墊修整器分區(qū) | 10區(qū) |
拋光墊修整器在線掃描速度 | 10sweeps/min |
拋光墊修整器下壓力 | 3-20lbs |
拋光墊修整器轉(zhuǎn)速 | 0-150rpm |
CMP后片內(nèi)非均勻性WIWNU 1sigma，去邊5mm | <5% |
CMP后片間非均勻性WTWNU 1sigma，去邊5mm | <3% |
儀器尺寸 | 1000×2030×2100(W x L x H， mm) |
冷卻系統(tǒng) | 可選 |
四，應(yīng)用實(shí)例：
?CMP工藝 Si CMP， 氧化物 CMP(BPSG， TEOS， ThOx)， 金屬 CMP(W， Cu)， 介質(zhì)膜，STI等
?工藝開(kāi)發(fā) 可協(xié)助客戶進(jìn)行各類(lèi)材料/薄膜等的CMP工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)
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