• XE15型原子力顯微鏡簡介：

  XE15型原子力顯微鏡是韓國PARK原子力顯微鏡公司專為工業檢測實驗室設計開發的一款大尺寸原子力顯微鏡，這是一款全自動的原子力顯微鏡系統，**全自動移動范圍達200mm*200mm，掃描分辨率0.03nm，集成了PARK公司**技術“非接觸式工作模式”“智能掃描模式”“基于壓電陶瓷堆積技術的平板掃描器”，并標配快速掃描模式，變速掃描模式，多種測量模式可選，XE15型原子力顯微鏡被廣泛用于半導體，LCD，LED，OLED，硬盤等工業領域的實驗室QC控制。

• XE15型原子力顯微鏡技術特色：

  1）采用非接觸式工作模式：

  PARK公司是目前全球**一家真正實現非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測量精度的前提下，可實現樣品與針尖的非接觸測量，避免了由于針尖磨損帶來測量重復性差與探針磨損快的缺點。

  下圖是測量CrN樣品的實例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結構，采用非接觸模式測量100幅圖后，圖像質量幾乎無變化，針尖幾乎無磨損！??！

2）測量分辨率：采用Park公司**的新型應變傳感器，憑借著0.03nm的超低噪聲

3）采用全球**性能平板掃描器：采用**技術得三軸分離的平板掃描器，在整個80μm的掃描范圍內誤差＜1nm !!!!

4）操作極其簡單：

- 具有“智能掃描模式”Smart scan：這是PARK公司的**技術之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統即可自動調整反饋，無需尋找共振峰，無需調整反饋參數gain值

- 具有中文，英文等多種操作界面

- 憑借著我們先進的預準直懸臂架，懸臂在裝載時激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業****）讓您可以輕松地找到激光光點。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕，將激光光點隨著X軸和Y軸移動。這樣，您可以在激光準直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時，您只需要稍作調整實現信號的**化，便可開始獲取數據。

5）具有全球*廣泛的原子力顯微鏡模式：

• XE15型原子力顯微鏡主要技術參數：

  - XY閉環掃描范圍大：達100μm*100μm

  - Z向閉環掃描范圍大：達12μm，25μm可選

  - 超高的測量分辨率：可達0.03nm

- 全自動掃描范圍：150mm*150mm（200mm*200mm可選）

• XE15型原子力顯微鏡部分測試實例：