1．技術參數

。曝光面積：100mmX100mm

。曝光波長：365nm

。分辨力：0.8μm（膠厚 2μm 的正膠）

。對準精度：± 0.6μm

。掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸：直徑 ± 15mm--± 100mm（各種不規則片）

厚度 0.1mm--6mm(可擴展為 15mm)

。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能

。照明不均勻性： 2.5%（±100mm 范圍）

。雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學**倍數 400 倍，光學+電子放大 800 倍物鏡 3 對：4 倍、10 倍、20 倍； 目鏡 3 對：10 倍、16 倍、20 倍

。調平接觸壓力通過傳感器保證重復

。數字設定對準間隙和曝光間隙

。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口15

。掩模相對于樣片運動行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; Thellta: ±6 度

。**焦厚：600μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）

。光源平行度：1.2o

。曝光能量密度：>20mW/cm

。汞燈功率：1000W（直流，進口）

2．外形尺寸：1400mm（長）?1200mm(寬) ?1950mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。XYZ 汞燈調節臺

。冷卻風扇

。1000W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

。光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對準工件臺

。掩模樣片整體運動臺

。掩模樣片相對運動臺

。轉動臺

。樣片調平機構，自動完成

。樣片自動調焦機構

。承片臺 4 個（?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模夾 4 個（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。基片抽拉式上下機構

（3）對準顯微鏡及 CCD 對準系統

。光源、電源

。雙目雙視場對準顯微鏡主體

。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）

。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）

。CCD

。21 英寸液晶顯示器

（4）電控系統

。汞燈觸發電源(1000W 直流汞燈)16

。單片機控制系統

。控制柜桌

（5）氣動系統

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

。電磁閥驅動

。氣動儀

（6）其他附件

。真空泵一臺（無油泵）

。空壓機一臺（靜音泵）

。管道