中國粉體網訊 等離子體刻蝕技術作為關鍵的微納加工手段，已成為半導體制造過程中不可或缺的核心工藝。等離子體刻蝕通過應用高能、高密度的等離子體實現材料的精確刻蝕，從而提升了集成電路的制造效率和良品率，使得半導體器件在高度集成的條[更多]
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