中國粉體網訊 靜電吸盤在半導體制造工藝的多個環節扮演著重要作用。現代半導體工藝中包含晶圓的清洗、氧化、光刻、刻蝕、沉積等環節,每個環節中又涉及到多種工序,這其中離子注入、物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)等工序均[更多]
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