中國粉體網訊 碳化硅制造裝備是碳化硅技術和產業(yè)發(fā)展的基礎,碳化硅單晶生長爐的技術水平、工藝能力及自主保障是碳化硅材料向大尺寸、高良率方向發(fā)展的關鍵,也是牽引第三代半導體產業(yè)向低成本、規(guī)模化發(fā)展的主要因素。目前國內主要的碳化硅[更多]
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