碳化硅裝備

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中國粉體網訊 碳化硅制造裝備是碳化硅技術和產業發展的基礎，碳化硅單晶生長爐的技術水平、工藝能力及自主保障是碳化硅材料向大尺寸、高良率方向發展的關鍵，也是牽引第三代半導體產業向低成本、規模化發展的主要因素。目前國內主要的碳化硅[更多]