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M82 750B 6K氣相沉積設備
M82 750B 6K氣相沉積設備

參考價格

面議

型號

M82 750B 6K

品牌

順心谷

產地

上海

樣本

暫無
上海順心谷半導體科技有限公司

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項目數據
設備型號M82 750B 6K
操作系統SXG-MPCVD控制系統
微波頻率2450MHz,輸出功率:6KW
反應腔承載功率≦10KW
生長臺Φ2英寸
工作壓力10-200Torr
標準氣路5路/6路(可定制)
測溫系統紅外測溫,測溫范圍300~1400℃
系統真空密封性(氦質譜撿漏)<1×10-9 Torr.l/sec
真空泵17.1 m3/H
設備尺寸1500MM(長)*800MM(深)*1980MM(高)
設備重量490KG


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