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設備特點
晶圓尺寸: 兼容8寸、12寸frame晶圓
雙loadport上料,雙臂帶翻轉robot取料
雙全自動取環工位
高效精確解UV光源
環切精度<0.15mm
設備尺寸：2060mm*2050mm*2300mm（不含三色燈）
暫無數據！
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