產品特征

高產率

SSB320和SSB380機型可提供53.5mm×33mm超大曝光視場，并配置了高速傳輸系統、高速高精度運動臺系統和高照度照明系統，實現高產率，顯著降低客戶擁有成本。

高分辨率

SSB300系列光刻機提供多種投影物鏡配置，分辨率可達到0.8~2μm，并具有大焦深和高線寬均勻性等特點，在大規模量產中有效提升產品良率。

高精度套刻

SSB300系列光刻機擁有高精度MVS對準系統、高精度工件臺定位系統和低畸變投影物鏡，保證了高精度套刻性能。其中對準系統支持特征圖形標記和光柵標記，并可選配紅外或可見光背面對準方式，滿足客制化需求。

工藝適應性強

采用獨特的在線Mapping技術，快速準確地擬合出基底面型，可有效增大工藝窗口。提供選配可變狹縫，可實現一塊掩模分為多個區域曝光，降低工藝研發費用，且與Aligner匹配時不增加額外芯片損失。