設(shè)備特點(diǎn):

1.設(shè)備的充氣組件主要包括質(zhì)量流量計(jì)、電磁閥、混氣罐，保障工藝氣體流量的精確控制，不同氣體均勻混合、安全隔離，并且可選載氣系統(tǒng)組件，用于液態(tài)氣源的使用，方便廣泛的液態(tài)碳源的個(gè)性化選用，或合成導(dǎo)電金剛石電極液態(tài)硼源等的安全使用。2.抽氣組件配備靜音高效旋片式真空泵，以及快速滿足高真空本底環(huán)境的渦輪分子泵系統(tǒng)。真空測(cè)量采用電阻規(guī)與電離規(guī)搭配的復(fù)合真空計(jì)，以及可大范圍測(cè)量不同工藝氣體壓力的電容薄膜規(guī)系統(tǒng)。沉積氣壓的控制采用高精度比例調(diào)節(jié)閥全自動(dòng)控制。3.冷卻水組件配備多路水壓、流量、溫度的測(cè)量及軟件自動(dòng)監(jiān)控，不同冷卻部件相互獨(dú)立，方便快速診斷故障，所有支路擁有獨(dú)立的閥門(mén)開(kāi)關(guān)，安全高效。

4.電氣控制組件采用大尺寸人機(jī)界面液晶屏，配合PLC全自動(dòng)控制，方便工藝配方編輯和導(dǎo)入;圖形化曲線直觀顯示各參數(shù)變化及數(shù)值設(shè)備及工藝參數(shù)自動(dòng)記錄存檔，方便問(wèn)題追溯及數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析。

5.工件架組件配置伺服電機(jī)控制基片臺(tái)升降，可選石墨或紫銅基片臺(tái)，溫度通過(guò)熱電偶進(jìn)行測(cè)量6.機(jī)架組件根據(jù)客戶(hù)需求可整體或分體式設(shè)計(jì)，滿足客戶(hù)搬運(yùn)特殊要求。

7.封板組件整體美觀大方，設(shè)備不同功能模塊區(qū)域的封板可獨(dú)立快速拆裝或打開(kāi)關(guān)閉，使用十分方便,