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半導(dǎo)體級(jí)MPCVD設(shè)備品牌
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| 常規(guī)配置及參數(shù) | |
|---|---|
| 電源輸入: | 三相 380V (±10%), 15KVA |
| 微波電源功率: | 6KW（2.45GHz） |
| 樣品臺(tái): | 8英寸水冷銅臺(tái) |
| 腔體生長(zhǎng)壓力: | 10-200Torr |
| 氣體管路: | 標(biāo)配4路（H2、O2、CH4、N2） |
| 反應(yīng)腔體: | 臥式蝶形上翻蓋金屬水冷腔體 （帶4個(gè)觀察窗） |
| 主機(jī)柜尺寸: | 900mm(W)×850mm(D)×1680mm(H) （約320Kg） |
| 控制柜尺寸: | 570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H) （約240Kg） |
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