“MPCVD”中文全稱名叫“微波等離子體化學氣相沉積”，MPCVD法的設(shè)備是制備高品質(zhì)金剛石的培育設(shè)備。其工作原理是利用微波作為能量來源，在特定的反應(yīng)氣體條件下激發(fā)等離子體進行材料外延生長，微波系統(tǒng)將微波源產(chǎn)生的微波能量以特有的模式經(jīng)矩形波導輸出，通過模式轉(zhuǎn)換器耦合進入圓柱形等離子體反應(yīng)腔，在微波場的作用下，反應(yīng)氣體被激發(fā)為等離子體狀態(tài)，等離子體是部分電子被剝奪后的原子及原子團被電離后產(chǎn)生的正負離子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，等離子體呈球狀形成于金剛石襯底上進行外延生長。