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UP-510 碟形腔式MPCVD設備品牌
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廣東樣本
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UP-510系列碟形腔式MPCVD設備設計先進，性能可靠。硬件配置穩定可靠，軟件系統集成度高，易于操作。沉積面積**可達3英寸，生產效率高，適合于生長大面積金剛石薄膜，也可用于單晶多晶金剛石的大批量生產。
| 1.大功率微波系統 | |
| 微波頻率 | 2450±25MHz |
| 輸出功率 | 0.6kw~10kw 連續可調 |
| 微波泄漏 | 離設備 5cm 處，微波泄漏≤ 2 mw/cm2 |
| 2.真空系統 | |
| 工作氣壓范圍 | 10~300Torr |
| 自動穩壓范圍 | 40~250Torr |
| 真空泵 | 4.4L/s 旋片式真空泵 |
| 系統漏率 | <1x10-9 Pa*m3 /s (通過氦質譜檢漏儀檢測) |
| 腔體保壓能力 | 每 24 小時壓升小于 0.5 Torr |
| 本底極限真空 | 1Pa |
| 3.真空反應腔及基片臺 | |
| 反應腔材料及結構 | 碟形不銹鋼反應腔 |
| 觀察窗口 | 四個 CF 端口， 90°分布。 |
| 測溫窗口 | 四個 CF 端口， 90°分布。 |
| 自動控制上蓋開關 | |
| 鉬基片臺直徑 | **150mm，建議直徑范圍 60mm ~75mm |
| 樣品臺可上下移動 | |
| 4.氣路 | |
| 系統自帶四路 MFC | |
| 選用日本進口流量計及流量控制閥 | |
| 5.測溫系統 | |
| 選用德國品牌紅外測溫，范圍：300~1300 攝氏度 | |
| 6.軟件 | |
| 配置 PLC 控制的 15“觸摸顯示屏，用戶操作界面友好，所有操作均可在觸摸屏上完成 | |
| 自帶缺水，缺氣，電源缺相，火球跳變，過溫過載，打火等自動保護 | |
| 生產流程通過工藝配方自動控制,可設置多達十套工藝配方 | |
| 系統自帶全自動抽氣，點火，升溫，降溫等預設流程，用戶操作簡便 | |
| 全自動溫度控制，氣壓控制，極大減輕系統操作員的工作量 | |
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