非接觸式可靠性MApping測量系統COREMA-WT提供無損全晶圓電阻率表征，具有極高的精度，分辨率和測量速度。它基于德國弗賴堡Fraunhofer應用固態物理研究所開發的非接觸電容技術。對于確定晶片橫向均勻性的制造工藝步驟的詳細但快速的生產兼容控制是*有價值的。***地支持探索性流程優化。

晶片上方和下方的電容金屬電極通過快速且精確的xy平移定位。他們在所需的測量點定義了本地樣品和空氣電容器。將充電電壓步驟施加到RC電路并記錄動態電荷再分配。從初始和*終電荷值和弛豫時間獲得電阻率。由于基于**原理的評估僅使用相對單元并且因為所有幾何參數抵消，所以以**單位獲得電阻率值而不涉及任何儀器校準因子。可以使用標準測試方法文檔（DIN 50447）。

單個測量只需要幾分之一秒。因此，在非常可接受的時間內獲得完整的晶片形貌。例如，記錄和評估在數據點之間具有1.4mm步長的100mm直徑的晶片形貌圖大約需要20分鐘。

該系統通常由供應商和客戶用于半絕緣晶片的常規生產控制和質量評估。電阻率測量范圍為1E6至1E9Ωcm的標準系統優先用于GaAs和InP。對于SiC和GaN，可提供具有1E5至1E12Ωcm擴展范圍的系統。

完整的測量過程，包括數據評估和專業演示，由基于Microsoft Windows的用戶友好型軟件支持和控制。軟件界面包括設置所需的測量程序，在線監控測量過程，顯示地形數據和詳細的統計評估。提供各種地形顯示，包括灰度，彩色編碼以及偽3D表示，提供令人信服的，以客戶為導向的產品質量以及評估和規范驗證。

SemiMap分析系統：

其他半導體測量系統

超高半導體電阻率測量

產品名稱：SemiMap Analytical Systems

產品編號：COREMA-WT

制造商：SemiMap Scientific Instruments GmbH

介紹：

測量范圍1x106 1x109Ohm*cm

探頭尺寸1mm 直徑

重復性優于1％

邊緣排除2.5mm

電阻率評估時間270 ms @ 1E7 Ohm * cm，包括1 mm步進轉換時間

晶圓評估時間為20毫米晶圓和1.4毫米x 1.4毫米步長20分鐘

溫度校正基于卡盤的電阻率溫度測量

歸一化到指定的溫度