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干膜光刻膠
干膜光刻膠

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美國

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香港電子器材有限公司

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DJ MicroLaminates成立于二零零九年,以銷售電子光刻膠材料技術,并提供產品開發,工藝開發服務和市場開發活動。由DJ MicroLaminates開發的產品有針對性的技術,以滿足先進的MEMS制造和晶圓級封裝的需求。

DJ MicroLaminates目前開發的光刻膠干膜(TDFS),是層壓板預切晶圓或基板尺寸。

SUEX TDFS

是感光厚環氧樹脂片,應用于晶圓級封裝和MEMS。該片材由兩個被剝離的聚酯薄膜保護層(PET)中間包含的陽離子固化改性環氧樹脂的光阻構成。環氧樹脂的光阻中含有無銻的光酸生成劑,并在一個嚴格控制的無溶劑的過程中制備,它能提供均已的涂層。該方法應用于負性光阻的開發,該種光阻對在350-400nm的范圍內的紫外線輻射敏感。

DJ MicroLaminates提供的產品是SUEX, SUEX Plus,以及ADEX系列的環氧樹脂負性光刻膠干膜,厚度范圍在5微米至超過1mm內。干膜很容易層壓在基板表面,并可在幾分鐘內預備使用。

SUEX適合并且與以下物質有良好的粘合性:硅,氮化硅,銅,金,玻璃,聚合物和其它金屬和氧化物。

標準厚度:

100um,150um,200um,250um,350um,500um,650um,750um和1mm

一般儲存溫度:

使用之前,應在21℃至25℃溫度中存放15-18小時,這樣為**效果,并易于加工。

SUEX/SUEX Plus/ADEX干膜光刻膠

1)總處理時間:小于5分鐘

2)**的厚度均勻性,邊緣無光

3)高熱穩定性-高韌性

4)無銻化學環境,無材料浪費

選擇干膜的優勢

1)無需昂貴的勻膠和烘膠設備

2)對Fab環境要求較低

3)整片晶圓上厚度均勻

4)無需去邊工藝

5)100%平坦化(真空壓膜)

6)膠膜內部成份分布均勻

7)適合UV和X射線曝光

8)高透過率

9)生產過程中減少了溶劑使用

10)綠色環保

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10分

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10分

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10分

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10分
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