勻膠機，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機，英文叫Spin Coater或者Spin Processor。總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

勻膠機適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝， 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。勻膠機可以用于制作低于10nm厚度的薄膜，并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。

由我司提供的勻膠機，在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽，相信能滿足您多種不同應(yīng)用要求。

產(chǎn)地：韓國ECOPIA公司

型號：SP-6

技術(shù)規(guī)格：

1. 旋轉(zhuǎn)襯底**尺寸：四英寸、六英寸、八英寸、十二英寸等；

2. 按客戶需求提供整體解決方案，可以旋涂*小3mm， **1000mm襯底；

3. 從手動到全自動溶質(zhì)分配的選擇范圍寬大；

4. 無振動轉(zhuǎn)速**5000RPM；

5. 真空吸附，無污染；

6. 臺式勻膠機，占用空間小；

7. 具備耐化學(xué)性的無縫聚丙烯外罩，并且勻膠機主機易清洗；

8. 聚四氟乙烯（PTFE）的勻膠機可用于強腐蝕性化學(xué)材料；

9. 液晶顯示屏人機界面，甚至帶著手套都可以方便使用；

10.可以準確重復(fù)運行程序的數(shù)字程序控制系統(tǒng)；

11. 高度靈活的多重可編程步驟組成復(fù)合程序；

12. BLDC馬達，高穩(wěn)定性，無熱量散發(fā)(優(yōu)于DC馬達)；

應(yīng)用范圍：

可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數(shù)的有機溶液、水溶液；