美國SVT生產型MBE

SVT 擁有20年MBE設備制造與革新的經驗。

MBE是半導體材料和器件生長的主要研究制造技術。

SVT 的MBE設備提供超高真空環境，可以精確制備各種薄膜結構，包括超高k電解質，光電子器件，高能通訊器件，以及其他應用器件。

SVT正不斷提高MBE系統的性能，并為客戶開放新材料提供更大便利。

35V14 MBE是生產型的MBE系統，并可以加工超大尺寸樣品。

此系統可以加工**14''的樣品，

并配有大容量的源以及RF6.0生產型Plasma源。

可用于指標氧化物、氮化物、As化物等。