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美國SVT束流規/束流計
美國SVT束流規/束流計

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美國

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SVT公司的線性束流監控儀采用B-A離子規,用于在超高真空下測量束流。燈絲可以放在源的前面,用以獲取準確的數據來校準及監控工藝生長過程。

儀器長度可以客戶定制,保證離子規有足夠的前后移動容域度,避免生長過程中各部件相互影響。LBFM系列是高精度MBE應用的理想選擇。

B-A離子規

可放置于UHV環境中

烘烤溫度200 oC

2.75’’4.5’’ CF 接口法蘭

離子規隔離閥可選

束流電壓

10KV

燈絲電流

3A

發射電流

5A

光學路徑范圍

41/2’’CF

光斑大小

1.0mm (17’’/1075px距離)

**烘烤溫度

230 oC

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