爐管尺寸

φ80mm（外徑）

加熱元件

硅碳棒

工作溫度

≤1350℃

溫控系統(tǒng)

30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為液晶觸摸屏控制

控溫精度

±1℃

加熱區(qū)長度

750mm(3點(diǎn)控溫）

氣路系統(tǒng)內(nèi)部裝有5路高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量，按要求配比，配有1路鼓泡器

控制范圍

2～100％F.S.

準(zhǔn)確度

≤10SLM ±1％F.S.，＞10SLM ±2％F.S.

線性

≤10SLM ±0.5％F.S.，＞10SLM ±2％F.S.

重復(fù)精度

±0.2％F.S.

響應(yīng)時間

≤2 sec

預(yù)抽真空泵抽速

30m3/H

設(shè)備功率

18KW

液態(tài)碳源調(diào)控注入系統(tǒng)

注液規(guī)格

10ul-140ml

工作模式

注入，抽取，注入抽取，抽取注入，連續(xù)模式

通道數(shù)

1

**行程

140mm

行程分辨率

0.156um/ustep

線速度范圍

1um/min-150um/min

線速度調(diào)節(jié)分辨率

1um/min

行程控制精度

誤差＜±0.35%（行程＞**行程30%時）

冷卻水要求

制冷量

2361btu/h

流量

不小于10L/min