一、產品特色

（1）該款設備是小型浮動催化 CVD 系統，配備真空系統，可以低壓條件下進行實驗；設備配有雙向推拉注射泵、氧分析儀、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等組件。

（2）加熱爐為三溫區立式爐，上端法蘭配有導液桿（可上下調節）和 1 個進氣口；下端法蘭配有安全保護泄壓裝置，底部配有收集罐，收集罐放置于小車上便于移動，真空系統方面由一個電阻規和一臺 BSV30機械泵組成；尾部配有不銹鋼過濾裝置；加熱爐爐體為密封結構，同時備有可通循環氣體的進出口。

（3）防爆控制柜配有 15 寸觸摸屏及按鈕操作組件，下方配有氧分析儀、觸摸防爆鼠標以及氣路手閥組件；柜體左側配有可切換鼓泡裝置的組件；*頂部箱體配有雙向推拉注射泵，供液體連續工作。

二、技術參數