大面積CVD石墨烯生長設備

爐管尺寸

Φ300*3000mm

**進料量

20Kg

加熱元件

進口KTL電阻絲

加熱區數量

3-8區(可根據需求定制)

**溫度

室溫至1200℃，連續可調

控溫方式

人機界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數字工控儀表雙控，采用工業智能控溫儀表和軟件實現雙控，采用模糊型PID控制

無紙記錄

內置存儲記錄運行工藝數據，外接USB接口，可以電腦連接一鍵拷貝數據

結構描述

①設備可電動對半開啟，自動控制冷卻降溫系統.實現可控冷卻速度.

②在進料端配備2路高精度質量流量計系統，準確控制氣體流量，可以實現生產工藝拓展和調整。

③系統采用自動化工藝流程，設定好工藝一鍵操作。降低人為因素，工藝可靠性可以達到99.9%；

④機械泵系統：1pa,另外配備微調系統，確保可以在穩定負壓下生長石墨烯；可實現日產20萬平方厘米石墨烯薄膜

腔體

采用內控溫和外控溫相互切換，防止石英折射和散射造成的溫場不均勻現象

供氣系統

三路質量流量計