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第三代半導體人注意!3 大「精度革命」神器即將空降蘇州,解鎖 SiC 生產降本增效密碼!


來源:中國粉體網 粉享匯   粉享匯

[導讀]  “當競爭對手還在為微米級誤差焦頭爛額,掌握納米級精度的企業已提前鎖定市場!” —— 復拓科學儀器首席技術官

在第三代半導體碳化硅(SiC)賽道上,0.1μm 的精度誤差可能導致良品率暴跌 15%,單晶圓成本激增數千元!從晶體生長到晶圓加工,每一道工序都在考驗設備的精度極限。



2025年8月20-21日江蘇·蘇州中國粉體網主辦的第三代半導體SiC晶體生長及晶圓加工技術研討會現場復拓科學儀器(蘇州)有限公司三大殺手锏級產品震撼亮相,直擊行業痛點:

✅ 膜厚測量儀 Premier 50:精準到 Å 級的膜厚把控,告別外延層厚度不均導致的器件失效


✅ 光學表面形貌儀:納米級粗糙度檢測,讓微缺陷無處遁形


✅ 晶圓厚度測量系統:±1μm 的厚度測量精度,解決翹曲超差引發的封裝難題

🔥 三大主推產品,如何顛覆行業認知?

1️⃣ 膜厚測量儀 Premier 50—— 外延層的「納米級標尺」

SiC 器件性能高度依賴外延層質量,但傳統測量方式誤差高達 ±5%,導致批次性良品率不足 70%!Premier 50 憑借光譜橢偏 + 激光干涉雙技術融合,實現:


  • 檢測精度達 1Å:可分辨原子層厚度變化,確保外延層均勻性

  • 測量速度提升 3 倍:單晶圓檢測僅需 30 秒,適配產線高速需求

  • 多膜層同步分析:一次測量獲取 SiC/SiO₂/ 金屬層等 5 層以上膜厚數據



2️⃣ 光學表面形貌儀 —— 缺陷檢測的「納米顯微鏡」

SiC 晶圓表面的微小凸起或凹陷,可能造成器件擊穿電壓下降 20%!復拓這款設備搭載白光干涉 + 共聚焦復合技術,做到:


  • 粗糙度檢測下限 0.1nm:精準捕捉原子級臺階高度差

  • 3D 形貌實時重構:可視化呈現晶圓表面微觀缺陷分布

  • AI 缺陷智能分類:自動識別劃痕、顆粒污染等 12 類常見缺陷




3️⃣ 晶圓厚度測量系統 —— 厚度控制的「微米級衛士」

晶圓厚度不均會導致封裝應力集中,引發芯片失效!該系統采用多光束共焦測量技術,實現:


  • ±1μm 厚度測量精度:全晶圓 2000 + 點位快速掃描

  • 翹曲度實時監測:同步輸出 TTV(總厚度變化)、局部厚度等 6 項關鍵參數

  • 邊緣盲區檢測:攻克傳統設備難以測量的晶圓邊緣區域


📢 參會即享「三重硬核福利」,錯過再等一年!

1️⃣ 零距離技術體驗:現場操作三大設備,實測自家樣品數據(限前 20 名預約)


2️⃣ 定制化解決方案:復拓專家團隊一對一診斷產線精度問題,出具優化報告


3️⃣ 展會專屬優惠:現場簽約設備享折扣 + 年度校準服務


碳化硅器件成本每降低 10%,市場份額就能提升 20%!這是一場關乎企業未來 5 年競爭力的技術博弈。現在掃碼聯系會務組鎖定席位!



會務組緊急通道

📞 段經理:13810445572(微信同號,備注「復拓」優先對接)

📩 郵箱:duanwanwan@cnpowder.com

📍 坐標:蘇州·白金漢爵大酒店(8 月 20-21 日 9:00-17:00)

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