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晶圓加工

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中國粉體網訊 近日,浙大科創先進半導體研究院-杭州乾晶半導體聯合實驗室經過系列技術攻關,在大尺寸碳化硅(SiC)單晶生長及其襯底制備方面取得突破,成功生長出厚度達27毫米的8英寸n型碳化硅單晶錠,并加工獲得了8英寸碳化硅襯底[更多]

資訊 碳化硅襯底半導體單晶生長晶圓加工浙大科創先進半導體研究院
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