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電子級氫氟酸

推薦臺積電減少螢石用量 與HF供應商用磷肥廢料生產電子級氫氟酸

中國粉體網訊 為確保制程關鍵材料「氫氟酸」穩定供應并友善環境,臺積電宣布,已攜手供應商以磷肥廢料替代螢石,在不影響原有制程品質的前提下成功產制氫氟酸。電子級氫氟酸主要應用于半導體制造過程的清洗和刻蝕等工序,它的純度和潔凈度對[更多]

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