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特性 | 石英 JGS1 | 石英 JGS2 | TGV工藝石英 | 高硼硅玻璃 BF33 |
材料類型 | 220nm - 2500nm | 中等純度石英（天然或合成） | 高純度石英（可能為合成或熔融石英） | 高硼硅玻璃（含硼氧化物） |
主要成分 | SiO?（>99.99%） | SiO?（>99.9%） | SiO?（>99.9%） | SiO?（約81%）、B?O?（約13%） |
羥基含量 | 高（約1000 ppm） | 低（約200 ppm） | 低（通常<10 ppm） | 低（<10 ppm） |
熱膨脹系數 | 0.55 × 10?? /K（極低膨脹） | 0.55 × 10?? /K（極低膨脹） | 熱膨脹系數低 | 3.25 × 10?? /K（低膨脹） |
耐熱性 | 極高（軟化點約1700°C） | 極高（軟化點約1700°C） | 極高，耐高溫 | 較高（軟化點約820°C） |
透光范圍 | 185 nm - 2500 nm | 220 nm - 2500 nm | 185nm - 2500nm | 300 nm - 2500 nm |
紫外透光性 | 優異（185 nm起透光率高） | 較差（220 nm以下透光率低） | 優異（耐酸堿腐蝕） | 較差（300 nm以下透光率低） |
紅外透光性 | 較差（2.7 μm處受羥基吸收影響） | 較好（2.7 μm處透光率較高） | 優異（2.7 μm處透光率較高） | 良好（2.7 μm處透光率較高） |
化學穩定性 | 優異（耐強酸強堿） | 優異（耐強酸強堿） | 優異（耐強酸強堿） | 良好（耐酸堿，但弱于石英） |
機械強度 | 高 | 高 | 高 | 高 |
主要應用 | 紫外光學、激光器、半導體 | 可見光/紅外光學、激光器窗口 | 三維封裝、MEMS、光電子器件 | 光學窗口、實驗室器皿、顯示屏 |
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石英光學窗口 | ||||||
材質 | 石英玻璃JGS1 | |||||
直徑 | 50.8mm | 100mm | 150mm | 200mm | 80*80 mm | 152*152 mm |
厚度 | 500μm | 500μm | 1000μm | 1000μm | 1000μm | 2000μm |
定位邊 | 16mm | 32.5mm | 47.5mm | Notch | N/A | N/A |
表面光潔度 | S/D 20/10 60/40 80/50 | |||||
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