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設備性能指標 | ||
1 | 操作方式 | 手動 |
2 | 管路數 | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-6寸 |
4 | 適用工藝 | 多晶合成 |
5 | 工藝溫度范圍 | 800-1250℃ |
6 | 恒溫區長度 | 300-800mm |
7 | 控溫精度 | ±0.2℃/＞1280℃恒溫區內 |
8 | 單點溫度穩定性 | ±0.2℃ |
9 | 溫度校準功能 | 具有預先寫入偏差值快速拉溫區功能 |
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