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設備性能指標 | ||
1 | 操作方式 | 立式 |
2 | 管路數 | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 6-12寸 |
4 | 適用工藝 | 擴散（鎵擴）、玻璃鈍化（GPP）、退火、合金 |
5 | 溫度校準功能 | 具有自動校準溫區功能，具有預先寫入偏差值快速拉溫區功能（選配） |
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