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E1000 化合物半導體缺陷檢測設備品牌
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E1000 化合物半導體缺陷檢測設備
Eagle1000 化合物半導體缺陷檢測設備可以檢測藍寶石，砷化鎵，鉭酸鋰，石英玻璃，磷化銦等襯底及外延片。可以檢測并區分顆粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、劃傷（scratch）、污點（stain）、裂紋（crack）等缺陷，*小可檢測缺陷81nm；支持4@、6@、8@晶圓檢測，具有高產能、檢測準確和檢出率高的優點。
適應晶圓尺寸Wafer Size
l Size: 4", 6", 8" compatible; 標配4 cassettes; other size upon request
l Thickness: 350um~1500um（其它厚度需要測試）
暫無數據！
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