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l 適用于GaAs EPI外延片
l 具備AOI、OCR等功能
l 兼容4 inch和6 inch晶圓
l 自研光學鏡頭: FOV ~15.6mm
l 缺陷檢測空間分辨率：1.3μm x 1.3μm
l Review復查分辨率： 0.19μm x 0.19μm
l 缺陷檢出率 ≥ 98%
l 缺陷誤檢率 ≤ 2%
l 缺陷重復性 > 95%
l 鐳刻碼OCR識別率 ≥ 99.9%（選配）
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