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致真設備還推出了多款互聯設備實現多個系統的互聯，適用于2~8英寸的晶圓。通過真空泵組搭配可實現晶圓的超高真空傳輸。根據需求可以選擇兩套系統直接相連，成本較低且運行可靠。也可以通過圓形互聯系統實現多個系統相連，通過選配進樣室可以實現超高真空過渡，減少對鍍膜系統的污染。
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