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晶圓真空傳輸平臺采用四邊形、六邊形或八邊形設計，可以實現(xiàn)多個工藝室的互聯(lián)，系統(tǒng)可選配機械臂和校準裝置，可實現(xiàn)8或12吋晶圓的自動傳輸。系統(tǒng)搭配控制軟件可實現(xiàn)安全可靠的控制。
性能參數
晶圓尺寸 | 8或12吋 |
| 極限真空 | 優(yōu)于5×10-7mbar |
| 前端模塊 | 可選EFEM等 |
| 對接口 | 四個，六個，八個（可實現(xiàn)多套互聯(lián)） |
| 機械臂 | 可選單臂和雙臂，定位精度±0.1mm |
| 校準裝置 | 對準器，校準傳感器 |
| 真空系統(tǒng) | 機械泵+分子泵，可選離子泵等 |
| 控制系統(tǒng) | PC+PLC 安全互鎖，碰撞保護,真空互鎖等 |
| 標準 | SEMI |
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