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智能工序功能 - 對于不同的金屬腐蝕工藝，如銅刻蝕后再進(jìn)行鈦刻蝕，可預(yù)設(shè)工藝菜單與工序后，在設(shè)備中一次完成。
先進(jìn)的噴嘴掃描系統(tǒng)
精確的藥液控制
藥液回收使用可減少成本
專注安全性
兼容8寸和12寸晶圓
*多可配至4個(gè)單片腔體
*多可配至5種藥液進(jìn)行雙面清洗工藝
*多可回收2種藥液
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