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大型快速的3D白光干涉測(cè)量
使用高精度的壓電馬達(dá)
全電動(dòng)系統(tǒng)
可用于直徑從70mm的不同氣缸
使用MountainsMap影像地形分析數(shù)據(jù)
SmartWLI-cylcheck參數(shù)
探測(cè)器
光源
: 白光LED系統(tǒng)組件
深層定位
: 電動(dòng)可調(diào)節(jié)到200 mmX-Y定位
: 圓柱直徑為電動(dòng)調(diào)節(jié)可從70 mm調(diào)到155 mm
系統(tǒng)轉(zhuǎn)動(dòng)
: 可手動(dòng)旋轉(zhuǎn)Z-測(cè)量系統(tǒng)
: WLI/壓電式底座的測(cè)量范圍為100um測(cè)量轉(zhuǎn)接器
: 用于安裝在氣缸上的轉(zhuǎn)接器滾動(dòng)箱
: 記錄所有系統(tǒng)組件，包括工業(yè)PC對(duì)儀器的控制評(píng)估
: MountainsMap影像地形鏡頭選項(xiàng)
放大倍數(shù) 10x 20x 50x
在平方微米的測(cè)量領(lǐng)域 1290x965 645x480 258x190
NA 0，3 0，4 0，55
z方向分辨率 <5 nm <5 <5 nm
XY方向分辨率 1，9 µm 1，0 µm 0，7 µm
選項(xiàng)
Cylanalyse 圓柱表面的分析評(píng)價(jià)
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