原子力顯微鏡主動減振臺/減震臺

品牌：HERZ

型號：AVI-600-XL

描述：AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統，有利于為基礎研究、應用研究、生產等領域所用精密儀器創造穩定的測量環境。AVI系列可在寬頻率范圍內進行隔振，為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉儀、微型檢測設備等提供優異的隔振性能。

適用于各類大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM，干擾儀防震臺，輪廓儀防震臺，電子太平防震臺，超快激光系統防震臺，時頻系統防震臺，大型半導體設備防震臺，激光設備主動防震！

產品亮點：

六個空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動隔振， >200Hz被動隔振)

5-20ms響應時間

低頻隔振性能優異，安裝和使用簡單

系統主動檢測輸入振動并動態消除

緊湊、模塊化的多功能設計

穩定性高，能無故障連續使用多年

無低頻共振、無空氣要求

應用范圍：

超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）

光刻工具

高精度計量工具

光譜儀器

升級選項：

可與LFS低頻穩定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術參數：

型號：AVI-600XL/LP

系統配置：獨立隔振裝置 & 控制裝置

主動隔振范圍：大致為1.0 Hz - 200 Hz

被動隔振范圍:大致為200 Hz以上

顯示屏信號:多路復用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。

LEDs 指示輸出階段的過載情況。

單元尺寸(每個):318 x 856 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm

隔振單元重量: 34kg

負載能力:1200 kg (同等/低重心)

輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC， 50 - 60 Hz

功耗：通常27W

溫度范圍：5℃ - 40℃

相對濕度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室內/室外使用：僅用于室內

隔振效果：

性能對比圖：SEM 的研究人員在兩種獨特條件下進行成像： 不含隔振系統和包含AVI系列隔振臺。當使用AVI系列隔振臺搭載SEM時，所得圖像表明圖像質量和整體測量清晰度得到大幅提升。

原子力顯微鏡主動減振臺/減震臺