日本JEOL熱場發射掃描電子顯微鏡JSM-7610FPlus

· 廣受好評的JSM-7610F的光學系統經過改進，實現了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統，提供穩定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。

產品規格：

產品特點：

廣受好評的JSM-7610F的光學系統經過改進，實現了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統，能提供穩定的高空間分辨率觀察和分析。

此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。主要特點如下：

◇ 半浸沒式物鏡

半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強磁場，因而可以獲得超高分辨率。

◇ High Power Optics

High Power Optics 是獨特的電子光學系統，既實現了高倍率觀察又能進行多種分析。

浸沒式肖特基場發射電子槍，可以獲得10 倍于傳統肖特基場發射電子槍（FEG）的探針電流，**光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時也能保持小束斑，兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強大的High Power Optics 系統，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的*小物鏡光闌而不需要改換。

浸沒式肖特基場發射電子槍銃

浸沒式肖特基場發射電子槍通過和低像差聚光鏡組合，可以有效地收集從電子槍內發射的電子。

**光闌角控制鏡（ACL）

**光闌角控制鏡（ACL）配置在物鏡的上方，在整個探針電流范圍內自動優化物鏡光闌的角度。因此，即使照射樣品的探針電流很大，與傳統方式相比，也能獲得很小的電子束斑。

即使探針電流很大，束斑直徑也很小

長時間分析時穩定度也很高

浸沒式消特基場發射電子槍能獲得穩定的電子探針

◇ 柔和電子束（GB:GENTLEBEAM^TM）模式

柔和的電子束模式（GB模式）通過給樣品添加負電壓，從而使電子束在即將撞擊樣品之前降低著陸電壓，因此可以在低加速電壓下（*低100V）進行高分辨觀察。

由于電子束在樣品中散射區域減小，就會容易地觀察樣品淺表面的精細結構，能減少對熱敏樣品的的損傷，可以直接觀察非導電性樣品。

JSM-7610Plus 在GB模式下（1KV）的分辨率為1.0nm

GB 模式的效果

GB 模式在低電壓下提高分辨率

左圖一般模式，右圖GB模式

增強了的低加速電壓下的分辨率

◇ r-過濾器

新一代 r-過濾器 是由二次電子控制電極，背散射電子控制電極，過濾器電極組合而成的獨特的能量過濾器。當電子束照射樣品時，從樣品表面會釋放出各種能量的電子，新一代r-過濾器 通過組合多個靜電場使電子束保持在透射系統的中央，同時還對樣品中產生的二次樣品和背散射電子進行選樣和檢測。

新新一代 r-過濾器*多能獲得3倍于舊機型的信號量。

新一代 r-過濾器 檢測信號的方法

◇ LABE檢測器（選配件）

LABE（Low Angle BE）檢測器能檢測低角度背散射電子。在低加速電壓下對樣品表面精細的形貌信息，在高加速電壓下對樣品的組分信息都能進行高分辨觀察。

利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像

◇ 擴展性

能譜儀（EDS）

High Power Optics 能充分發揮EDS（SDD）檢測器的特長，即使探針電流很大，也不容易飽和。使用低加速電壓，大探針電液能在短時間內獲取清晰的面分布圖。下面的圖像顯示了在2分針內可以對鎳基板表面上極薄的石墨烯薄膜進行分析。

使用基本型SDD nm2 檢測器也能在短短的30秒鐘內測試100nm厚的多層膜截面。

波譜儀（WDS）

由于High Power Optics 在大探針電流時也能提供很小的電子束斑，因此能充分發揮WDS的特長，使用WDS可以確認用EDS判斷的樣品的濃度差等。

陰極熒光系統（CL）

陰極熒光是電子束照射樣品時產生的發光現象，從樣品中發出的光經拋物面反射鏡（聚光鏡）聚焦后被檢測出來。

下面的數據是金剛石（1KW）的二次電子圖像和用衍射光柵獲得的CL像。用低加速電壓觀察CL像，可以在高分辨率下觀測到金剛石的表面缺陷。