靶材

Au 靶為標配，可選 Pt，直徑 57mm x 0.1mm 厚

標準樣品臺

可以裝載 12 個 SEM 樣品座，高度可調范圍為 60mm

旋轉傾斜樣品臺（選配）

旋轉速度： 0~60rpm 連續可調，傾斜角度： -90 °~ 90°連續可調；

不銹鋼腔體：直徑 120mm X 高 75mm；

觀察窗：直徑 120mm X 高 45mm；

標配旋轉臺直徑 40mm，可放 4 個標準樣品臺， 其它規格可訂做； 具有雙重鎖緊裝置， 可確保樣品在旋轉傾斜時不會松動脫落。

濺射電流

微處理器控制， 安全互鎖，可調，電流 5~30mA，程序化數字控制

計量表

真空：  Atm - 1*10-3 mbar，電流： 0~99mA

控制方法

帶有 “開始”“暫?！卑粹o的微處理控制器（1－999s），自動抽氣、濺 射、關機后自動放氣。

真空系統

抽氣速率

133L/MIN

極限真空

10-4  mbar 級

噪音

56dB