產品特色

一：電氣控制及爐膛安裝

電氣控制采用控溫儀表與觸屏組合操控，其控溫精確且操作直觀簡便。儀表及觸屏均采用國內**品牌，質量精確可靠。

五段爐膛溫區長度100+200+200+200+100mm，爐膛間格擋較常規爐膛格擋減薄，5點控溫，利于溫區間的精確控制，爐膛可以開啟，并裝有散熱風扇，使降溫更快。

二：真空管路和法蘭

1：左端法蘭：

    左端法蘭采用可滑動結構，使爐管拆卸清洗簡單方便，爐管與法蘭之間采用聚四氟墊片填充縫隙，減少污染源，另配有KF16接口（預留接口）。左端經氣動插板閥連接手套箱。

2：右端法蘭：

右端法蘭采用簡化結構，配有旁抽截止閥+KF16（預留接口）+直抽CF100接口。

3：真空管路

右端法蘭裝有全量程真空計，CF100接口連接冷阱，冷阱容積約1.5L，冷阱前端連接氣動插板閥，后端連接分子泵。

4：連接手套箱部分：左端法蘭經氣動插板閥連接手套箱部分。

三：流量控制

本設備按配備有一路質量流量計，量程5000sccm，采用國內**品牌，質量精確可靠。氣體經流量計后從左端法蘭的進氣口進入，使氣流對升華材料的影響降到*低。

四：外觀

    本設備結構采用承重框架結合鈑金包圍形式，顏色采用時尚高光白，設備簡潔時尚又不乏穩重，更具備操作直觀方便、控溫精確、真空優良等性能。重框架采用模塊式組裝結構，拆卸組裝十分方便，利于狹小空間的運輸與安裝。

技術參數