一、設備組成

這是一款智能型PECVD系統。該設備主要分為四大部分：多溫區管式爐、射頻組件、氣路系統、及自動化控制軟件集成系統。

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，6點控溫；設備升降溫控制靈活、加熱爐可電動開啟方便客戶更換維修反應管。

2、氣路系統

   可由質量流量計精確控制多路氣體按不同流量進行混合配比，另外單獨1路過鼓泡器后進入反應管內。

3、射頻組件

    1000W高性能射頻輝光均勻，可使整個反應腔體都處于輝光產生區。

4、 智能控制系統          

    采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。

二、技術參數